VTC-600-2HD 双靶磁控溅射仪
应用范围:VTC-600-2HD是一款带有两个靶头的磁控溅射镀膜仪,其中一个靶头采用直流(DC)溅射,可溅射金属靶材制备金属膜,另一个采用射频(RF)溅射,可溅射金属和氧化物靶材,制备金属或氧化物膜.设备上安装有薄膜测厚仪可以实时监测薄膜的厚度。此设备可制作各种单层或多层薄膜,如铁电、导电,合金,半导体,陶瓷,介电,光学,氧化物和PTFE薄膜等。而且设备体积较小操作方便,是一套理想的实验工具。
产品型号 :VTC-600-2HD
上架时间 :2019-08-19
安装尺寸:L1300mm× W 660mm× H 1200mm
重量:160 kg
VTC-600-2HD是一款带有两个靶头的磁控溅射镀膜仪,其中一个靶头采用直流(DC)溅射,可溅射金属靶材制备金属膜,另一个采用射频(RF)溅射,可溅射金属和氧化物靶材,制备金属或氧化物膜.设备上安装有薄膜测厚仪可以实时监测薄膜的厚度。此设备可制作各种单层或多层薄膜,如铁电、导电,合金,半导体,陶瓷,介电,光学,氧化物和PTFE薄膜等。而且设备体积较小操作方便,是一套理想的实验工具。
性能指标和基本配置 | ||||||
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主要参数 |
● 输入电源:220V AC 50/60Hz |
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主要特点 |
● 体积小,操作简便 |
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磁控溅射头 |
● 仪器中安装有2个2英寸磁控溅射头,而且都带有水冷夹层(图一) |
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载样台 |
● 载样台尺寸:φ140mm(最大可放置4"的基底) |
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真空腔体 |
● 真空腔体:φ300 mm x 300 mm H,采用不锈钢制作 |
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气体流量控制器 |
● 仪器内部安装有2个质量流量计,量程为:0-100sccm |
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真空系统 |
● 配有一套GZK-103D分子泵系统(德国制作) |
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薄膜测厚仪(可选) |
● 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å |
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产品尺寸 |
L 1300mm× W 660mm× H 1200mm |
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净重 | 160 kg | |||||
使用提示 |
● 此设备为DIY设备,参数变化较大购买前请务必电话仔细沟通 |
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警告 |
● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 |
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认证 | ||||||
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 |
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